Catégorie de banc: Elaboration de matériaux

Réacteurs plasma

[caption id="attachment_2535" align="aligncenter" width="604"] Réacteur d’implantation en immersion plasma TAPIIR[/caption] Les réacteurs de traitement de surface URANOS (Unité de Réaction Activée pour la Nitruration et l’Oxydation des Surfaces) et TAPIIR (Thermally Assisted Plasma Ion Implantation Reactor) ont pour objectif de modifier les propriétés de surface des matériaux par incorporation d’éléments chimiques dans le substrat. Le…
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Implanteur EATON

Modification des matériaux par implantation ionique L’implanteur EATON permet d’accélérer de nombreux éléments au moyen non seulement d’une source Freeman mais aussi d’une source de pulvérisation. Pour des ions monochargés, l’énergie varie de 5 à 200 keV et l’utilisation d’ions deux ou trois fois chargés permet d’atteindre des énergies de 400 à 600 keV. Les…
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Machines de dépôt

  L’institut Pprime dispose d’un parc de différents bâtis de dépôts ultra-vide physique en phase vapeur (PVD) permettant la synthèse de couches minces fonctionnelles d’une large gamme de matériaux : métaux, oxydes, nitrures, et offrant la possibilité de contrôler leur microstructure sous différentes formes : empilements multicouches, nano-composites, croissance colonnaire par GLAD. L’enceinte PUMA est un bâti…
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