Présentation du banc :
Le banc de recherche NanoLab est un double microscope haute résolution (Dual-Beam) FIB + MEB-FEG. Il est composé d’une colonne électronique à canon FEG et d’une colonne ionique équipée d’une source Ga+. De nombreux détecteurs permettent d’imager les surfaces (imagerie électronique secondaire et rétrodiffusée, imagerie ionique) et d’en caractériser la chimie (EDS) et la cristallographie (EBSD). Le banc est aussi équipé d’un micro-manipulateur.
Ses domaines d’applications :
- Nano-fabrication de lames MET (50-100 nm d’épaisseur – technique de lift-out)
- Micro/nano-structuration de surface
- Caractérisation 2D des surfaces: imagerie électronique/ionique, EDS, EBSD
- Caractérisation 3D des matériaux (technique de slice-and-view): imagerie électronique/ionique, EDS, EBSD
- Plus d’informations sont disponibles dans le document ci-contre: présentation du FIB Helios NanoLab G3 CX
